一、实验室概况：

　　本实验室旨在薄膜材料领域，建设国内首家功能薄膜材料物理性能检测技术研究基地，助推功能薄膜材料的研究与发展，为湖北省乃至整个国家的产业转型升级提供保障平台，尤其是工业时代向信息时代的转型升级。

　　湖北省工程实验室主要包括以下几个实验室：

　　1、薄膜材料热分析实验室

　　2、薄膜材料样品制备与加工实验室

　　3、薄膜材料电磁分析实验室

　　4、薄膜材料力学分析实验室

　　5、薄膜材料光学分析实验室

二、实验室情况简介

　　（1）薄膜材料热分析实验室

　　材料热物性是对特定热过程进行基础研究、分析计算和工程设计的关键参数，是材料最基本的性能之一，在科学研究、工程设计、工业生产等领域应用十分广泛，也是各行业节能技术发展的基础。

　　薄膜材料热物性分析测试实验室是对薄膜材料热物性的重要特征参量，如：热导系数、热扩散率、比热容、热膨胀系数、发射率、热流密度等进行测量。评价薄膜材料的相变特性，热稳定性，满足纳米科技、微电子机械系统（MEMS）、低维材料、纳米生物医药等领域高新技术迅猛发展的需要。

　　（2）薄膜材料样品制备与加工实验室

　　实验室为薄膜材料性能检测提供制样准备，以满足其他性能检测实验室仪器的检测需要。实验室拥有薄膜制备仪器：磁控溅射镀膜仪、离子束溅射镀膜系统。可以制备各种薄膜：陶瓷氧化物、氮化物膜、金属多层膜，以及各种超晶格；同时，可合成纳米管、纳米粉末，以及量子点。精密切割机、研磨抛光机、光刻机对块体和薄膜样品表面进行微加工处理，满足不同的测样要求。

　　（3）薄膜材料电磁性能测试实验室

　　薄膜材料电学、磁学性能测试实验室主要是为了满足薄膜材料磁学性能、电学性能及微观测试。测量参数有：电阻率、载流子浓度、迁移率、磁矩、电滞回线等。实验室主要配备：薄膜变温电阻测试仪、霍尔效应测试仪、铁电分析仪、综合物性测量系统、磁学测试系统等。

　　（4）薄膜材料力学性能测试实验室

　　薄膜材料被广泛应用于微机械系统的设计中。微机械系统的设计和选材受到加工工艺的限制，大量采用薄膜材料。薄膜材料的力学特性，如弹性模量、残余应力、泊松比、断裂强度、疲劳强度等，是决定MEMS 元件性能的重要参数，是微机械设计中不可缺少的数据。薄膜材料与块状材料的力学特性与性能可能不同，这是由于存在较强的尺寸效应，薄膜材料的力学特性与成膜装置、成膜条件及热处理等条件有密切关系，而且微构件的力学特性还难以用常规的方法测试，存在着很多困难。

　　薄膜材料力学性能测试实验室主要关注薄膜材料的硬度、弹性模量、应力、热应力、表面粗糙度、台阶高度、吸附力等参数。实验室拥有的仪器有：X射线残余应力分析仪、薄膜热应力测试系统、探针式轮廓仪、纳米划痕测试仪、纳米压痕测试仪、固体表面ZETA电位分析仪等。

　　（5）薄膜材料光学性能测试实验室

　　光学薄膜是综合性非常强的工程技术科学的产物。如今，可以毫不夸张地说，人们的生活离不开光学薄膜的应用，无论是在高新技术领域中的精密仪器、显示器、薄膜太阳能电池的研发还是日常生活当中使用的视听设备、数码产品、眼镜等，光学薄膜材料都得到广泛的应用。因此，材料的光学特性和光学常数的测定在制备高性能光学薄膜器件中具有十分重要的地位。