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晶圆探针台在集成电路测试的应用

集成电路测试是验证设计、控制工艺、管理生产、保证质量、分析失效以及指导应用等的重要手段。集成电路测试应用在集成电路开发、生产和使用的全过程。根据测试的目的不同、可以把集成电路测试分为3种类型¦

- 晶圆测试(Wafer Testing)

- 成品测试(Final Test)

- 其他阶段集成电路测试(Other Stage Integrated Circuit Testing)


其中、晶圆测试是指根据晶圆探针台测试结果、集成电路设计人员可以进行设计评估¦集成电路工艺人员可以进行工艺的调整;集成电路生产运行管理人员可以制订生产计划等等。

成品测试是指根据成品测试结果可以挑选出合格的产品¦也可以根据实际测试得到的性能参数指标对产品进行分级并统计各级电路数量。一般质量管理人员监控产品的质量;生产运行管理人员控制产品的生产计划。

其他阶段集成电路测试包括抽检测试、可靠性测试和产品定型测试等。


值得一说的是探针台是可以对射频特性器件进行失效分析的、以及芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案。

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