真空探针台设备参数￤
外形尺寸￤长650mm*宽650mm*高1300mm；
温度范围￤-196~400℃（环境温度）；
制冷加热方式￤液氮制冷､电阻加热；
样品台尺寸￤≤φ100mm；
有效高度￤40mm；
探针台真空度￤机械泵≤10Pa､分子泵≤5.0 e-3Pa；
探针台设备气路￤1-2路；
温度传感器￤PT100；
控温方式￤PID线型调节；
控温精度￤±0.1℃；
最大升温速率￤80℃/min（RT到100℃）；
最大降温速率￤50℃/min（RT到-100℃）；
XYZ轴行程￤50mm*50mm*10mm；
探针结构￤外置探针臂､真空波纹管结构；
移动精度￤0.01mm；
线缆￤同轴线/射频线；
探针类型￤钨探针（类型可选）；
接头类型￤BNC/鳄鱼夹/接线端子｡