探针台设备原理￤
是由液氮和加热棒共同作用实现样品台温度在-196--400℃范围内连续变化的装置;
并搭载可调节的探针､能够在良好的温度梯度和稳定性的温度场下､连接样品和客户检测设备;
可实现在低温下或变温下电学､热学､光学等性能测试｡
探针台原理
探针台 ￨ 百科
探针台为小尺寸样品测量电特性､PID自整定连续多点控温､提供高精度可控的测量环境､帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能｡
探针台设备通过定制样品台和测量方式､可以实现￤
基础测试；
保护气氛电路测试；
高低温真空探针台；
超高频探针台；
光电流分析；
FA失效分析等测量和分析平台｡