探针台工作原理：精细的结构设计和控制系统的结合

探针台工作原理：通过其精细的结构设计和控制系统，实现对样品的准确测量和分析。

1.定位：通过样品台精确定位待测物（晶圆、芯片等）；

2.视觉辅助：利用光学元件放大观察，确保探针精确对准测量点；

3.固定待测物：使用卡盘固定晶圆或芯片，可能采用夹具或真空吸附；

4.探针控制：通过电磁或压电装置精确控制，探针在样品表面的移动和定位；

5.信号采集：内置传感器实时记录探针与样品相互作用产生的信号；

6.数据处理：对采集的信号进行处理，分析得到样品的形貌和性能信息；

7.自动化测试：手动、半自动或全自动探针台系统完成测试流程。