探针台其组成部分可以按照不同的功能模块来划分，下面是探针台的主要组成部分：
探针台台体：这是探针台的基础结构，提供一个稳定的平台来承载其他组件，并且通常包含有用于固定晶圆或芯片的夹具；
探针卡或探针座：探针卡是带有多个微小探针的载体，探针会接触芯片上的测试点；
探针头：包括探针臂和探针针尖，针尖直径极小，可以达到微米甚至纳米级别，用于直接接触芯片的测试点；
卡盘（样品台）：用于放置和固定晶圆的平台，可以通过X、Y、Z轴和旋转调整位置；
显微镜系统：用于对准和视觉检查，帮助操作者观察探针与芯片的接触情况，通常配备有高分辨率的CCD摄像头；
控制系统：包括微定位器和运动控制系统，用于精确调整探针和样品的位置，确保探针准确地接触芯片的指定位置；
电气系统（源表）：测试源表是提供测试信号并测量返回信号的设备；
测试软件：软件控制系统用于自动化测试流程，包括晶圆映射、测试程序设定、数据采集和分析；
其它（如果配置）：机械手、真空系统、温度控制系统、气路控制等；
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