探针台原理

探针台 - 百科

探针台为小尺寸样品测量电特性,PID自整定连续多点控温,提供高精度可控的测量环境,帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

探针台设备通过定制样品台和测量方式,可以实现:

基础测试;

保护气氛电路测试;

高低温真空探针台

超高频探针台;

光电流分析;

FA失效分析等测量和分析平台。

探针台设备原理:

是由液氮和加热棒共同作用实现样品台温度在-196--400℃范围内连续变化的装置;

并搭载可调节的探针,能够在良好的温度梯度和稳定性的温度场下,连接样品和客户检测设备;

可实现在低温下或变温下电学、热学、光学等性能测试。


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