晶圆探针台HCP-1W

￭晶圆探针台HCP-1W产品特点：

● 产品功能：晶圆探针台在常温环境下用于晶片､晶圆､芯片等多种器件的精密电测量；

● 使用范围：帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

● 应用领域：提供材料/器件的IV/CV特性测试､LD/LED/PD的光强/波长测试､射频特性器件失效分析､芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案；

● 定制服务：定制样品台和测量方式；

● 自动控温：PID自整定连续多点控温｡

￭晶圆探针台HCP-1W技术参数：

● 样品台尺寸：150mm*150mm（6in.）；

● 探针数量：≤4；

● 移动精度：0.01mm；

● 探针XYZ行程：100mm*100mm*10mm；

● 样品台旋转角度：360°､精度±1；

● 样品台侧倾角度：±8°､精度±1；

● 显微镜放大倍数：15x~100x｡

￭晶圆探针台应用

● 提供材料/器件的IV/CV特性测试；

● LD/LED/PD的光强/波长测试；

● 射频特性器件失效分析；

● 芯片内部线路/电极/PAD测试｡

●●● ●●●