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企业动态

日期： 09-28 13:52

显微镜探针冷热台在材料结构､组织以及工艺过程等的微观测量和研究中，对真空､压力､气氛和湿度的调节及控制能力有要求｡

针对显微镜探针冷热台的真空压力和气氛的精密控制，需要达到的技术指标如下￤

（1）真空压力￤绝对压力范围0.1Torr~1000Torr，控制精度为读数的±1%｡

（2）气氛￤单一气体或多种气体混合，气体浓度控制精度优于±1%｡

显微镜探针冷热台采用以下两种独立的技术可以实现真空压力和气氛的精确控制￤

（1）真空压力控制￤采用动态平衡法技术，通过控制进入和排出测试腔体的气体流量，使进气和排气流量达到动态平衡从而实现宽域范围内任意设定真空压力的准确恒定控制｡

（2）气氛控制￤采用气体质量流量控制技术，分别控制多种工作气体的流量，由此来实现环境气体中的混合比｡

上一个：冷热台控温精度达±0.1℃､可实现连续变温及逐点控温下一个：

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