探针台在微电子领域的应用广泛且深入,对微电子器件的测试、研发和生产过程起到了关键作用。
微电子器件的电性能测试
IV和CV测量¦探针台可以对各种 微电子器件进行IV(电流-电压) 和CV(电容-电压)测量,以评 估器件的性能和可靠性。这些测 量是了解器件电学特性的基础。
高精度测量¦探针台能够进行HV (高压)测量、低电流fA测量以 及微波测量(频率可达1THz毫米 波)等,满足了对微电子器件在 不同条件下的高精度测试需求。
多参数测试¦除了基本的电学参 数外,探针台还能测量其他与电 性能相关的参数,为微电子器件 的全面评估提供了可能。
微电子器件的开发与生产
新型微电子器件研发¦在新型微 电子器件的研发过程中,探针台 提供了快速、准确的电性能测试 手段,有助于研究人员了解器件 性能并进行结构和工艺优化。
生产过程控制¦在微电子器件的 生产过程中,探针台可以实现自 动化、高效的电性能测试,对部 分产品进行抽样测试,以确保生 产过程的稳定性和产品质量。
故障分析¦当微电子器件出现故 障时,探针台能够在微米或纳米 尺度上进行精确的定位,帮助快 速识别故障原因和位置,为后续 的修复和改进提供依据。
失效分析与可靠性验证
微小连接点信号引出¦探针台能 够精确地将微小连接点的信号引 出,便于进一步的测试和分析。
失效分析确认¦通过探针台进行 的电性能测试,可以确认半导体 器件的失效模式和原因,为改进 设计和生产工艺提供反馈。
FIB电路修改后的电学特性验证¦ 在聚焦离子束(FIB)技术修改电 路后,探针台可用于验证修改后 的电学特性是否符合预期。
晶圆可靠性验证¦探针台还可以 对晶圆进行可靠性验证,确保其 在各种条件下的稳定性和耐久性。