探针台其组成部分可以按照不同的功能模块来划分､下面是探针台的主要组成部分｡
探针台台体￤这是探针台的基础结构，提供一个稳定的平台来承载其 他组件，并且通常包含有用于固定晶圆或芯片的夹具 ｡
探针卡或探针座￤探针卡是带有多个微小探针的载体，探针会接触芯 片上的测试点｡
探针头￤包括探针臂和探针针尖，针尖直径极小，可以达到微米甚至 纳米级别，用于直接接触芯片的测试点 ｡
卡盘（样品台）￤用于放置和固定晶圆的平台，可以通过X､Y､Z轴 和旋转调整位置｡
显微镜系统￤用于对准和视觉检查，帮助操作者观察探针与芯片的接 触情况，通常配备有高分辨率的CCD摄像头 ｡
控制系统￤包括微定位器和运动控制系统，用于精确调整探针和样品 的位置，确保探针准确地接触芯片的指定位置 ｡
电气系统（源表）￤测试源表是提供测试信号并测量返回信号的设备 ｡
测试软件￤软件控制系统用于自动化测试流程，包括晶圆映射､测试 程序设定､数据采集和分析｡
其它（如果配置）￤机械手､真空系统､温度控制系统､气路控制等｡
