武汉光谷薄膜技术有限公司 ￨ 百科

HCT-1S科研版技术参数￤

● 温度范围：77K-800K（环境温度）；

● 控温精度：±0.05K；

● 最大升温速率：20K/min；

● 降温时间：室温-80K≤15min；

● 液氮槽容积：400mL；

● 加热功率：50W；

● 定制服务：定制样品台；

● 功能：PID自整定，多点连续控温；

HCT-1E教学版技术参数￤

● 温度范围：77K-600K（环境温度）；

● 控温精度：±0.1K；

● 最大升温速率：20K/min；

● 降温时间：室温-80K≤15min；

● 液氮槽容积：400mL；

● 加热功率：50W；

● 定制服务：定制样品台；

● 功能：PID自整定，多点连续控温；

HCS-1L参数：

● 温度范围：-196~600℃（环境温度）；

● 制冷加热方式：液氮循环制冷，电阻加热；

● 温度传感器：PT100，K型；

● 控温方式：PID线型调节；

● 控温精度：±0.1℃；

● 最大升温速率：80℃/min；

● 最大降温速率：-50℃/min；

● 工作真空度：≤10Pa；

● 吹扫气路：1路；

HCS-1M参数：

● 温度范围：-100~200℃（环境温度）；

● 制冷加热方式：液氮循环制冷，电阻加热；

● 温度传感器：PT100，K型；

● 控温方式：PID线型调节；

● 控温精度：±0.1℃；

● 最大升温速率：50℃/min；

● 最大降温速率：-10℃/min；

● 工作真空度：≤10Pa；

● 吹扫气路：1路；

HCS-1N参数：

● 温度范围：-40~100℃（环境温度）；

● 制冷加热方式：压缩循环制冷，电阻加热；

● 温度传感器：PT100，K型；

● 控温方式：PID线型调节；

● 控温精度：±0.1℃；

● 最大升温速率：50℃/min；

● 最大降温速率：-10℃/min；

● 工作真空度：≤10Pa；

● 吹扫气路：1路；

高低温探针台HCP-1C参数：

● 温度范围：-196~400℃（环境温度）；

● 制冷加热方式：液氮制冷，电阻加热；

● 样品台尺寸：≤φ100mm；

● 有效高度：40mm；

● 真空度：机械泵≤10Pa，分子泵≤5.0 e-3Pa；

● 气路：1-2路；

● 温度传感器：PT100；

● 控温方式：PID线型调节；

● 控温精度：±0.1℃；

● 最大升温速率：80℃/min（RT到100℃）；

● 最大降温速率：50℃/min（RT到-100℃）；

● XYZ轴行程：50mm*50mm*10mm；

● 探针结构：外置探针臂，真空波纹管结构；

● 移动精度：0.01mm；

● 线缆：同轴线/射频线；

● 探针类型：钨探针（类型可选）；

● 接头类型：BNC/鳄鱼夹/接线端子；

晶圆探针台HCP-1W参数：

● 探针数量：≤4；

● 移动精度：0.01mm；

● 探针XYZ行程：100mm*100mm*10mm；

● 样品台旋转角度：360°，精度±1；

● 样品台侧倾角度：±8°，精度±1；

● 显微镜放大倍数：15x~100x；

1982年10月､湖北黄梅人､中共党员､华中科技大学博士､硕士生导师､高级工程师。

国家科技部“十四五”重点研发计划评审专家；

湖北省科技厅专家库专家；

中国薄膜专委会副秘书长；

中国材料学会热电材料分会理事；

功能薄膜材料湖北省工程实验室理事长；

武汉市集成电路发展规划专家库咨询专家；

优秀民营企业家；

武汉市十佳创业雄鹰；

全国创新100强企业；

主持和作为骨干参与国家､地方科研项目近100项；

申请国内外专利98件､已授权69项､其中美国专利2件；

召集并主持完成成果鉴定2项､成果登记4项；

参与制定国家团体标准1项；

2020年､荣获“湖北省技术发明一等奖”；

2022年､荣获“湖北省科技进步二等级”；

牵头筹划布局并建设省､市科技创新与应用开发平台4个 ｡

华中科技大学教授､博导､入选国家高层次青年人才。

中国半导体三维集成制造产业联盟副秘书长；

湖北省薄膜测试工程技术研究中心主任；

IEEE Senior Member､中国真空学会薄膜专委会委员；

中国材料与试验标准化委员会FC00领域委员；

3551光谷人才计划；

武汉市青年晨光计划；

武汉英才-产业领军人才；

湖北省青年拔尖人才；

湖北省杰出青年基金；

长江学者青年学者；

国际主流期刊发表SCI论文70余篇､授权发明专利80余项；

专利产品获评“湖北省十大科技事件”；

2020年湖北省技术发明一等奖（排名第2）；

2022年“华为奥林帕斯先锋奖”（排名第2）｡