三维霍尔效应探针测试台

功能特点

三维磁场：面内场X+Y方向，磁场强度500Gs；垂直场Z方向，磁场强度2000Gs；各方向磁场可独立程序控制；

三轴压电陶瓷位移台：纳米级分辨率，内置高精度光学位置传感器，闭环控制，高性能驱动力，先进运动控制算法；

测试软件：适配Keithley2450、Keithley6510等测试仪表；导入测试点坐标，可实现自动扎针测试，自动生成测试结果；

应用领域

自旋电子学材料/器件；磁性材料/器件/传感器测试；

晶圆/样片/分立器件/晶体管/纳米器件/功率器件测试；

封装器件/PCB 板测试；LED/PD/LD 光电材料/器件的测试、可靠性分析或失效分析；

30 微米以上电极/PAD 测试；

I/V、C/V、C/F、射频S参数、有源测试、耐压测试、ESD 测试、混合参数测试等；