按材质分类:
无机薄膜材料:包括金属薄膜(如铝、铜、钛等)、氧化物薄膜(如氧化锌、氧化铝等)、碳化物薄膜等。
有机薄膜材料:通常由高分子材料制成,如聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯等。
按功能分类:
1. 电学薄膜:包括半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料,以及超导薄膜等。它们在电子、电气领域有重要应用,如导电层、绝缘层、超导材料等。
2. 光学薄膜:这类薄膜具有反射、干涉、偏振等光学性能,主要应用于光学元件、显示器件、太阳能等领域。
3. 力学性能薄膜:具有高硬度、高弹性模量、高强度等力学性能的薄膜,主要应用于机械、电子、航空航天等领域。
4. 磁学性能薄膜:具有磁导率、磁化强度、磁损耗等磁学性能的薄膜,主要应用于磁记录、磁存储、传感器等领域。
5. 热学性能薄膜:具有热导率、热膨胀系数、热稳定性等热学性能的薄膜,主要应用于散热、隔热、保温等领域。
6. 声学性能薄膜:通过合理设计和优化材料结构,薄膜型声学超材料可以实现对特定频率范围内声波的反射和吸收,从而达到隔声的效果。
7. 化学性能薄膜:具有耐腐蚀、抗氧化、防水等化学性能的薄膜,主要应用于化工、制药、食品等领域。
8. 生物医学性能薄膜:具有生物相容性、生物活性、药物控释等生物医学性能的薄膜,这类薄膜在医疗领域有广泛应用。