外部调节探针台是一种用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备。它通常由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器组成。探针台可以对半导体芯片、集成电路和其他微电子器件进行直接的电性能测试,从而为研究和生产提供准确的数据 。
在半导体制造过程中,晶圆经过一系列加工步骤后,需要对外部调节探针台进行电气测试,以确保每个芯片的功能和性能符合设计要求。这种测试通常在晶圆级进行,即在芯片封装之前。
除此之外,它还具有很高的可扩展性。它可以轻松地与其他测试设备连接,如自动光学检测设备(AOI)、X射线检测设备,从而实现更多全面的测试和故障分析。这种可扩展性不仅提高了测试效率,也提高了故障诊断的准确性。