光谷薄膜探针台HCP系列

光谷薄膜探针台 HCP系列采用精密的机械结构､高性能的探针以及稳定的温度､真空控制系统､为样品测量电特性提供高精度可控测量环境｡其核心参数包括￤

- 温度范围￤-190~400°C

- 控温精度￤±0.1°C

- 最大升温速率￤80°C/min

- 最大降温速率￤50°C/min

该探针台可实现精准可靠的测试与测量分析､帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能､包括提供材料/器件的IV/CV特性测试､LD/LED/PD的光强/波长测试､射频特性器件失效分析､芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案｡它可以应用于集成电路､功率器件类晶圆的高低温测试､高压测试､大电流测试､坏点重测､WAT测试､射频测试等领域｡

以下是一些客户案例￤

- 基础测试

- 高低温真空探针台

- 保护气氛电路测坛

- 超高频探针台