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实现冷热台的真空、气氛的准确控制的解决方案

为了实现冷热台的真空、气氛的准确控制,提出了相应的解决方案。


针对这个问题,本解决方案采用以下两种独立的技术实现真空压力和气氛的精确控制:

(1)真空压力控制:采用动态平衡法技术,通过控制进入和排出测试腔体的气体流量,使进气和排气流量达到动态平衡从而实现宽域范围内任意设定真空压力的准确恒定控制。

(2)气氛控制:采用气体质量流量控制技术,分别控制多种工作气体的流量,由此来实现环境气体中的混合比。


本解决方案能够有效地解决显微镜探针冷热台的真空压力控制问题,具备高度的控制精度和自动化能力。此外,该方案还具有以下特点:

(1)本解决方案具有很强的适用性和扩展性,只需调整相关部件参数即可适应不同范围的真空压力需求。此外,通过在进气口增加微小流量可变泄漏阀,还可以实现各级超高真空度的精密控制。

(2)本解决方案所采用的控制器还可应用于冷热台的温度控制,例如帕尔贴式TEC半导体加热制冷装置的温度控制、液氮温度的低温控制等。

(3)解决方案中的控制器内置计算机软件,可直接通过计算机屏幕操作进行整个控制系统的调试和运行。控制过程中的各种过程参数变化曲线会自动存储,可快速搭建起控制系统,极大地方便了微观分析和测试研究。


然而,在目前的冷热台环境控制方面,仍然存在微小空间内湿度环境高精度控制的难题,这将是未来研究和开发的方向之一。



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