在薄膜材料研发与质控中，高低温环境下的微观形变、表面形貌变化，直接决定器件可靠性与使用寿命。传统常温检测难以匹配真实工况，成为行业普遍痛点。我们推出冷热台联用白光干涉轮廓仪，将亚纳米级三维形貌测量与宽温场控温深度融合，为薄膜材料提供一站式原位检测方案。
设备搭载自研高精度冷热台，实现 **-190℃至 400℃连续可控温场，控温均匀稳定，可完美模拟材料实际应用环境。依托白光干涉非接触测量技术，仪器垂直分辨率达0.1nm**，能无损检测薄膜表面粗糙度、台阶高度、膜厚、翘曲度等关键参数，不损伤柔性、脆弱类薄膜样品。
仪器支持4D 动态形貌追踪，可实时记录变温过程中薄膜的膨胀、收缩、应力释放等微观变化，自动生成形貌演化数据与可视化图谱，让温场下的微观变化可观测、可量化、可追溯。
产品广泛适用于半导体薄膜、光学薄膜、柔性电子薄膜、热电薄膜等领域，可精准支撑材料研发、工艺优化与出厂质控，深度贴合光谷新型显示、光电子、新能源等核心产业需求。
