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高低温探针台HCP-1C

高低温探针台HCP-1C

产品描述:

高低温探针台HCP-1C,温度范围:-196~400℃,为小尺寸样品测量电特性,提供高精度可控的测量环境,帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。可以实现基础测试、保护气氛电路测试、高低温真空探针台、超高频探针台、光电流分析、FA失效分析等测量和分析平台。


高低温探针台HCP-1C产品特点:


● 产品功能:高低温探针台小尺寸样品测量电特性,提供高精度可控的测量环境;

● 使用范围:帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

● 应用领域:提供材料/器件的IV/CV特性测试,LD/LED/PD的光强/波长测试,射频特性器件失效分析,芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案;

● 定制服务:定制样品台和测量方式;

● 自动控温:PID自整定连续多点控温。


高低温探针台设备HCP-1C技术参数:


● 外形尺寸:长650mm*宽650mm*高1300mm;

● 温度范围:-196~400℃(环境温度);

● 制冷加热方式:液氮制冷,电阻加热;

● 样品台尺寸:≤φ100mm;

● 有效高度:40mm;

● 真空度:机械泵≤10Pa,分子泵≤5.0 e-3Pa;

● 气路:1-2路;

● 温度传感器:PT100;

● 控温方式:PID线型调节;

● 控温精度:±0.1℃;

● 最大升温速率:80℃/min(RT到100℃);

● 最大降温速率:50℃/min(RT到-100℃);

● XYZ轴行程:50mm*50mm*10mm;

● 探针结构:外置探针臂,真空波纹管结构;

● 移动精度:0.01mm;

● 线缆:同轴线/射频线;

● 探针类型:钨探针(类型可选);

● 接头类型:BNC/鳄鱼夹/接线端子;


高低温探针台应用

● 提供材料/器件的IV/CV特性测试;

● LD/LED/PD的光强/波长测试;

● 射频特性器件失效分析;

● 芯片内部线路/电极/PAD测试:

● 



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