探针台 - 百科

探针台为小尺寸样品测量电特性,PID自整定连续多点控温,提供高精度可控的测量环境,帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

探针台设备通过定制样品台和测量方式,可以实现:

基础测试;

保护气氛电路测试;

高低温真空探针台

超高频探针台;

光电流分析;

FA失效分析等测量和分析平台。

探针台组成

真空探针台设备组成:

探针台:设备主体;

控制器:PID温度控制器;

真空维持系统:真空泵;

液氮罐:降温系统;

电脑主机:测试监控;

探针台组成

探针台原理

探针台设备原理:

是由液氮和加热棒共同作用实现样品台温度在-196--400℃范围内连续变化的装置;

并搭载可调节的探针,能够在良好的温度梯度和稳定性的温度场下,连接样品和客户检测设备;

可实现在低温下或变温下电学、热学、光学等性能测试。


探针台参数

真空探针台设备参数:

外形尺寸:长650mm*宽650mm*高1300mm;

温度范围:-196~400℃(环境温度);

制冷加热方式:液氮制冷,电阻加热;

样品台尺寸:≤φ100mm;

有效高度:40mm;

探针台真空度:机械泵≤10Pa,分子泵≤5.0 e-3Pa;

探针台设备气路:1-2路;

温度传感器:PT100;

控温方式:PID线型调节;

控温精度:±0.1℃;

最大升温速率:80℃/min(RT到100℃);

最大降温速率:50℃/min(RT到-100℃);

XYZ轴行程:50mm*50mm*10mm;

探针结构:外置探针臂,真空波纹管结构;

移动精度:0.01mm;

线缆:同轴线/射频线;

探针类型:钨探针(类型可选);

接头类型:BNC/鳄鱼夹/接线端子。


探针台用途

探针台设备用途:


探针台设备主要为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台。探针平台可以吸附多种规格的芯片,并提供多种可调测试针和探针座。集成电路的电压、电流、电阻和电容电压特性曲线可以通过测量仪器完成。适用于芯片的科研分析、抽查和测试。


探针台主要用于测试半导体行业、光电行业、集成电路和封装。广泛应用于R&D复杂高速器件的精密电气测量,旨在保证质量和可靠性,降低R&D时间和器件制造工艺的成本。


探针台在操作上有:手动,半自动,全自动,从功能上来说,探针台涵盖:温控探针台、真空探针台(超低温探针台)、RF探针台、LCD平板探针台、霍尔效应探针台、表面电阻探针台。

探针台样品空间

探针台使用

探针台设备使用方法:

以手动探针台为例,探针台的使用方法如下:

1、将样品载入真空卡盘,打开真空阀控制开关,使样品安全牢固地吸附在卡盘上;

2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜的焦点下清楚地看到样品;

3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,将样品放置测试点移至显微镜下;

4.显微镜切换为高倍率物镜,在高倍率下找到待测点,然后微调显微镜聚焦和样品x-y,将图像调整清晰,等待测点位于显微镜视场中心;

5.确认测点位置后,调整探针座位置。安装探针后,可以将探针移到接近待测点的位置,然后使用探针座X。-Y-Z的三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。这时候要小心,慢慢移动,防止芯片误伤。当探针针的尖端悬挂在被测点上方时,探针可以先用Y轴旋钮稍微后退一点,然后用Z轴旋钮下针。最后用X轴旋钮左右滑动,观察是否有一点划痕,证明是否接触过;

6、确保针尖与被测点接触良好后,可通过连接测试设备开始测试。

探针台使用四探针链接

探针台特点

探针台特点:

1、U型平台,最多可以放置8个针座;

2、真空吸附,配置3个真空开关,可根据样品尺寸选择开关单独控制样品台可 360°旋转,粗调快速旋转带锁死,微调0.1°;探针座带快速倾仰调节支架;

3、按需升级,适配场景丰富;体积小巧,操作方便,性价比高;

4适用于六寸及以下圆片,碎片等;

5广泛应用在各研究所,高校,实验室等;

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