探针台使用

探针台 - 百科

探针台为小尺寸样品测量电特性,PID自整定连续多点控温,提供高精度可控的测量环境,帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

探针台设备通过定制样品台和测量方式,可以实现:

基础测试;

保护气氛电路测试;

高低温真空探针台

超高频探针台;

光电流分析;

FA失效分析等测量和分析平台。

探针台设备使用方法:

以手动探针台为例,探针台的使用方法如下:

1、将样品载入真空卡盘,打开真空阀控制开关,使样品安全牢固地吸附在卡盘上;

2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜的焦点下清楚地看到样品;

3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,将样品放置测试点移至显微镜下;

4.显微镜切换为高倍率物镜,在高倍率下找到待测点,然后微调显微镜聚焦和样品x-y,将图像调整清晰,等待测点位于显微镜视场中心;

5.确认测点位置后,调整探针座位置。安装探针后,可以将探针移到接近待测点的位置,然后使用探针座X。-Y-Z的三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。这时候要小心,慢慢移动,防止芯片误伤。当探针针的尖端悬挂在被测点上方时,探针可以先用Y轴旋钮稍微后退一点,然后用Z轴旋钮下针。最后用X轴旋钮左右滑动,观察是否有一点划痕,证明是否接触过;

6、确保针尖与被测点接触良好后,可通过连接测试设备开始测试。

探针台使用四探针链接

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