探针台参数

探针台 - 百科

探针台为小尺寸样品测量电特性,PID自整定连续多点控温,提供高精度可控的测量环境,帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

探针台设备通过定制样品台和测量方式,可以实现:

基础测试;

保护气氛电路测试;

高低温真空探针台

超高频探针台;

光电流分析;

FA失效分析等测量和分析平台。

真空探针台设备参数:

外形尺寸:长650mm*宽650mm*高1300mm;

温度范围:-196~400℃(环境温度);

制冷加热方式:液氮制冷,电阻加热;

样品台尺寸:≤φ100mm;

有效高度:40mm;

探针台真空度:机械泵≤10Pa,分子泵≤5.0 e-3Pa;

探针台设备气路:1-2路;

温度传感器:PT100;

控温方式:PID线型调节;

控温精度:±0.1℃;

最大升温速率:80℃/min(RT到100℃);

最大降温速率:50℃/min(RT到-100℃);

XYZ轴行程:50mm*50mm*10mm;

探针结构:外置探针臂,真空波纹管结构;

移动精度:0.01mm;

线缆:同轴线/射频线;

探针类型:钨探针(类型可选);

接头类型:BNC/鳄鱼夹/接线端子。


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