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了解半导体芯片电参数测试探针台用途、使用方法、规格特点

随着5G、人工智能、物联网等新兴技术的快速发展,科技智能产品正逐渐渗透到我们的日常生活和工作中。而这些智能产品的制造离不开一个重要的核心部件——芯片。相信大家都对芯片有一定的了解,所以今天我就来给大家介绍一下芯片测试中的一个重要环节——探针台

半导体芯片探针台

一、探针台的用途:

探针平台主要用于为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台。它可以吸附多种规格的芯片,并提供多种可调测试针和探针座。集成电路的电压、电流、电阻和电容电压特性曲线可以通过测量仪器完成。探针台适用于芯片的科研分析、抽查和测试。


二、探针台的使用方法:

以手动探针台为例,使用步骤如下:

1. 将样品载入真空卡盘,打开真空阀控制开关,使样品安全牢固地吸附在卡盘上;

2. 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜的焦点下清楚地看到样品;

3. 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,将样品放置测试点移至显微镜下;

4. 显微镜切换为高倍率物镜,在高倍率下找到待测点,然后微调显微镜聚焦和样品x-y,将图像调整清晰,等待测点位于显微镜视场中心;

5. 确认测点位置后,调整探针座位置。安装探针后,可以将探针移到接近待测点的位置,然后使用探针座X。-Y-Z的三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。这时候要小心,慢慢移动,防止芯片误伤。当探针针的尖端悬挂在被测点上方时,探针可以先用Y轴旋钮稍微后退一点,然后用Z轴旋钮下针。最后用X轴旋钮左右滑动,观察是否有一点划痕,证明是否接触过;

6. 确保针尖与被测点接触良好后,可通过连接测试设备开始测试。


三、探针台的规格特点:

1. U型平台最多可放置8个针座;

2. 真空吸附配置3个真空开关;可根据样品尺寸选择开关单独控制;样品台可 360°旋转粗调快速旋转带锁死微调0.1°;探针座带快速倾仰调节支架;按需升级适配场景丰富体积小巧操作方便性价比高;适用于六寸及以下圆片碎片等广泛应用在各研究所高校实验室等。


武汉光谷薄膜技术可提供全套解决方案通过晶圆探针台(HCP-1W)精密的机械结构高性能的探针以及稳定的控制系统为晶圆电特性测量提供高精度可控测量环境。

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